
SEMI D7 - FPD 유리 기판 표면 거칠기 측정 방법 -
Abstract
이 표준은 Flat Panel Display Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2003년 4월 28일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2003년 7월 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1994년에 출판되었습니다.알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.
이 문서는 스타일러스 방식 표면 거칠기 측정 장비에 의한 FPD 유리 기판 표면 거칠기 측정 방법을 정의합니다.
이 사양은 평판 디스플레이용 유리 기판의 공급업체 및/또는 구매자가 사용해야 하며 사용되는 모든 유리 기판에 유효합니다.
참조된 SEMI 표준 없음.
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D00700 - SEMI D7 - FPD 유리 기판 표면 거칠기 측정 방법
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