SEMI D6 - 액정 디스플레이(LCD) 마스크 기판 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000

Volume(s): Flat Panel Display
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI D6-0211(0117 재승인) - 현재

개정

Abstract


이 사양은 액정 디스플레이 마스크를 제조하는 데 사용되는 기판에 대한 표준을 정의합니다.


이 사양은 주로 액정 디스플레이 제조에 사용되는 포토마스크에 적용됩니다. 가장자리 길이 지정 범위는 202.8mm × 202.8mm에서 1220mm × 1400mm입니다.

가장자리 길이가 200mm 미만인 기판은 다음을 따릅니다. 반도체 마스크 사양(SEMI P1 참조).

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI P1 — 경질 표면 포토마스크 기판 사양

개정 내역

SEMI D6-0211(재승인 0117)

SEMI D6-0211(기술 개정)

SEMI D6-0308(기술 개정)

SEMI D6-0305(기술 개정)

SEMI D6-1101(기술 개정)

SEMI D6-0699(기술 개정)

SEMI D6-1296(기술 개정)

SEMI D6-92(최초 게시됨)

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