SEMI D3 - 평면 패널 디스플레이 기판에 대한 품질 영역 사양 -

개정: SEMI D3-91(0709 재승인) - 비활성

개정

Abstract

이 표준은 평면 패널 디스플레이 – 공장 자동화 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2009년 5월 13일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2009년 7월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1991년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2003년 7월.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서는 평면 패널 디스플레이 기판의 패턴 표면에 있는 다양한 영역을 정의하고 그 관계를 설명합니다. 다른 SEMI 평면 패널 디스플레이 문서에 설명된 용어 및 금융 규약이 있다고 가정합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI D9 — FPD 기판용 용어

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