SEMI C80 - Tetrakis(Dimethylamino) 실란(TDMAS) 가이드 -

개정: SEMI C80-0214 - 전류

개정

Abstract

이 문서의 목적은 필요성이 확인된 TDMAS(tetrakis(dimethylamino) silane)에 대한 지침을 제공하는 것입니다.

　

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 원자층 증착에 의한 산화규소 및 질화규소 기반 층의 증착에 사용되는 고순도 TDMAS를 다룹니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Customer Reviews

Be the first to write a review
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)

You May also Like