SEMI C79 - 초순수(UPW) 분배 시스템에 사용되는 15nm 미만 필터의 효율성 평가 가이드 -

Abstract

이 문서는 초순수(UPW) 유체 스트림에 사용되는 필터 요소의 효능을 평가하기 위한 권장 가이드로, 웨이퍼의 입자 오염에 대한 위험 완화로 입자 제어를 제공합니다.

　

이 가이드에서 다루는 입자 크기에 대한 적절한 온라인 입자 검출 계측이 부족하기 때문에 오프라인 필터 성능 테스트를 사용하여 필터 보유 효율을 검증할 수 있습니다. 오프라인 필터 성능 테스트는 실리콘 웨이퍼와 접촉하는 흐르는 UPW 스트림에서 입자 제어와 관련된 위험을 완화하는 데 도움이 됩니다.

　

이 문서는 UPW 유체 스트림에 사용되는 필터 요소를 평가하기 위한 테스트 방법에 대한 가이드를 제공합니다.

　

이 문서는 표준이 아닌 가이드입니다. 실제 UPW에서 훨씬 낮은 입자 농도 하에서 입자 거동을 평가하기 위해 실제 필터의 성능과 높은 도전 입자 농도를 사용하여 절차에서 테스트한 결과를 연관시키기 위해 추가 데이터가 필요합니다. 즉, 이 가이드에 설명된 방법에서 필터는 현재 입자 감지 계측이 낮은 입자 농도를 감지할 수 없기 때문에 실제 조건을 대표하지 않는 높은 입자 농도에서 문제가 발생합니다.

　

이 가이드는 반도체 제조 도구 및 보조 장비에 사용하기 위한 UPW 시스템 최종 필터 및 기타 UPW 분포 필터에 적용됩니다.

　

이 가이드는 5~15nm의 UPW 입자 제어가 필요한 고급 반도체 시설에 적용됩니다. 이 가이드는 기존 입자 감지 계측으로 다루지 않는 큰 입자에도 사용할 수 있습니다.

　

이 가이드에서는 필터 성능을 평가하는 네 가지 측면을 고려합니다.

　

• 유입 입자를 유지하는 필터의 능력은 입자 챌린지 테스트로 평가됩니다. 이 필터는 재순환 없이 물 또는 도전 입자 용액의 단일 통과 여과에서 테스트됩니다.
• 필터에 의한 입자의 가능한 기여는 필터의 초기 헹굼 중에 평가됩니다.
• 필터 성능 안정성은 필터의 작동 수명 전체에 걸쳐 성능 테스트를 반복하여 해결됩니다. 동일한 필터 그룹의 다른 대표 필터는 필터 교체 빈도를 확인하기 위해 필터 수명 동안 테스트됩니다.
• 초기 필터 청결도.

　

이 가이드는 UPW를 테스트 매체로 사용하는 동안 필터 입자 보유를 측정하는 절차를 설명합니다. 이 가이드의 의도와 목적을 위한 UPW 매개변수는 § 7.6에 정의되어 있습니다.

　

이 가이드는 평균 입자 크기가 5~15nm인 상업적으로 이용 가능한 콜로이드 실리카를 사용합니다. 폴리스티렌 라텍스 구체(PSL)를 필터 문제로 사용하는 것은 PSL 크기 분포가 너무 광범위하고 흰색 구형 플라스틱 비드를 사용하는 것이 필터 테스트에 비현실적인 문제이기 때문에 5~15m 크기 범위에서 작동하지 않습니다. 콜로이달 실리카는 5~15nm 크기 범위에서 상업적으로 이용 가능하고 저렴하기 때문에 우수한 도전 물질입니다. 콜로이달 실리카는 비교적 좁은 크기 분포를 가지며 필터 재료와의 상호작용이 적습니다. 따라서 필터의 체질 메커니즘에 의해 주로 제거됩니다.

　

이 가이드에 설명된 필터 성능 평가 절차는 샘플 채취 실험실 분석과 현장 액체 입자 측정(에어로졸 입자 감지 기술 사용)을 조합하여 사용합니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E49 — 고순도 및 초고순도 배관 성능, 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리 가이드
SEMI F57 — 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 폴리머 재료 및 구성 요소에 대한 사양
SEMI F61 — 반도체 공정에 사용되는 초순수 시스템 가이드

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