SEMI C77 - 최소 감지 가능 입자 크기가 30nm ~ 100nm인 액체 매개 입자 계수기의 계수 효율을 결정하기 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 5월 22일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 원래 2012년 9월에 출판되었습니다. 이전에 2018년 6월에 게시되었습니다.

이 문서는 감지 가능한 최소 입자 크기가 30nm에서 100nm 사이인 액상 입자 계수기의 계수 효율을 결정하기 위한 테스트 시퀀스를 제공합니다.

 

이 문서는 정량화된 입자 수 농도 샘플을 사용하여 액상 입자 계수기의 계수 효율성 테스트 시스템을 다룹니다.

　

이 문서는 액체 입자 계수기의 계수 효율성 테스트를 위한 테스트 조건을 정의합니다.

　

이 문서에서는 다음 영역을 다룹니다.

• 원래 폴리스티렌 라텍스(PSL) 입자 현탁액의 질량 농축

• 유체, 유량, 압력, 부피, PSL 입자수 농도 등 희석비를 계산하기 위한 인자.

• EUT(Equipment under Test) 액상 입자 계수기의 유형

• PSL 입자의 종류

• 테스트 보고서에 대한 설명

참조된 SEMI 표준

SEMI F63 — 반도체 공정에 사용되는 초순수 가이드
SEMI F104 — 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 구성 요소 평가를 위한 입자 테스트 방법 가이드

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