SEMI C75 - 테트라키스(디메틸아미노)티타늄 가이드 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 12월 8일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2011년 8월에 출판되었습니다.

 

이 문서의 목적은 필요성이 확인된 테트라키스(디메틸아미노)티타늄에 대한 지침을 제공하는 것입니다.

 

이 문서의 범위는 주로 반도체 산업에서 사용되는 고순도 테트라키스(디메틸아미노)티타늄을 포함하지만, 원자층 증착 또는 화학 기상 증착에 의한 질화티타늄 층의 증착에만 국한되지는 않습니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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