SEMI C72 - PGME(Propylene-Glycol-Mono-Methyl-Ether), PGMEA(Propylene-Glycol-Mono-Methyl-Ether-Acetate) 및 혼합물 70wt% PGME/30wt% PGMEA용 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩243,000

Volume(s): Process Chemicals
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C72-0811(재승인 0317) - 현재

개정

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 12월 8일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2011년 8월에 출판되었습니다.

 

이 문서의 목적은 PGME(프로필렌-글리콜-모노-메틸-에테르), PGMEA(프로필렌-글리콜-모노-메틸-에테르-아세테이트) 및 70wt% PGME/30wt% PGMEA 혼합물에 대한 가이드를 제공하는 것입니다. 필요가 확인되었습니다.

 

이 문서의 범위는 PGME, PGMEA 및 고급 레지스트 기술을 위해 반도체 산업에서 용매로 사용되는 70wt% PGME/30wt% PGMEA 혼합물을 다룹니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드


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