SEMI C71 - 삼염화붕소(BCI3) 사양 및 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩237,000

Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
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개정: SEMI C71-0421 - 현재

개정

Abstract

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 삼염화붕소(BCl3)에 대한 사양 및 지침을 제공하는 것입니다.


이 사양은 0.5µ 이하(0.35 ~ 0.5 범위)의 기하학과 관련이 있으며 기상 분석을 사용하는 분석 기술을 설명합니다.

분석 방법이 완전하지 않은 경우 요구 사항이 가이드로 제공됩니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI C3 — 가스 사양

개정 내역

SEMI C71-0421(기술 개정)

SEMI C71-0815(기술 개정)

SEMI C71-0611(최초 발행)

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