SEMI C70 - 육불화텅스텐 사양 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 8월 31일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2016년 11월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2011년 6월에 출판되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 육불화텅스텐(WF ₆ )에 대한 사양을 제공하는 것입니다.

이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 육불화텅스텐에 대한 요구 사항을 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드
SEMI C3 — 가스 사양
SEMI C10 - 방법 검출 한계 결정을 위한 가이드

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