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SEMI C69 - 폴리머 펠릿의 표면적 측정을 위한 테스트 방법 -
Abstract
이 문서는 폴리머 펠릿의 표면적 측정을 위한 테스트 방법을 제공합니다.
폴리머 펠릿의 상대적으로 정확한 표면적을 결정하는 것은 다양한 마이크로 전자 산업에 적용되는 응용 분야에서 중요합니다. 예를 들어, 중합체 펠릿은 취입 성형, 회전 성형, 사출 성형 또는 화학적 분배 시스템 또는 라이닝 시트에 사용되는 고순도 부품의 압출에 사용됩니다. 표면 오염 값을 계산하고 이를 완성된 구성 요소와 관련시킬 때 표면적을 아는 것이 중요합니다.
이 문서는 향상된 유클리드를 사용하는 테스트 방법을 설명합니다. 폴리머 펠릿을 기하학적 모양으로 취급하고 측정하는 기술 치수를 결정합니다.
측정된 치수를 사용하여 펠릿의 표면적을 계산하기 위한 공식이 표 A1-2에 제공됩니다.
이 방법을 사용하여 얻은 값(kg 무게당 m 2 표면적)은 표면적 단위당 오염을 결정하기 위해 SEMI F57과 같은 문서와 함께 사용할 수 있습니다.
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI F40 - 화학 테스트를 위한 액체 화학 분배 구성 요소 준비 실습
SEMI F48 — 폴리머 재료의 미량 금속 측정을 위한 테스트 방법
SEMI F57 — 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 폴리머 재료 및 구성 요소에 대한 사양
개정 내역
SEMI C69-1015(재승인 1220)
SEMI C69-1015(기술 개정)
SEMI C69-0611(최초 발행)
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