SEMI C69 - 포리마페렛트의 表面積を測定するための試験方法 -

Abstract

本standared는 글로벌 액체 화학 위원회で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年6月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 에서 入手可能가 가능합니다.

　

本書 は， ポ リ マ ー ペ レットの表面積を測定するための試験方法を規定する.

　

様々なマイクロエレクトロニクス産業に使用されるポrimaー製品において，原材料のポrimaーペrettoの表面積を比較的正確日本語版把握する ことは重要である。例えば，ポrimーペレットは，broー成形，回転成形，射出成形，押し出し成形によって製造される高純度成分の薬液配管部品やライングシートに使用される。porimaーペrettto完成porimaー製品の汚染レベルを関連付ける際，ポリマーペレットの汚染レベルを算出するにあたって，表面積を把握する ことは重要である。

참조된 SEMI 표준

SEMI F40 - 화학 테스트를 위한 액체 화학 분배 구성 요소 준비 실습

SEMI F48 — 폴리머 재료의 미량 금속 측정을 위한 테스트 방법

SEMI F57 — 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 폴리머 구성 요소에 대한 잠정 사양

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