SEMI C67 - 하프늄 아미드 가이드 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 12월 8일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2011년 8월에 출판되었습니다.

 

이 문서의 목적은 필요성이 확인된 하프늄 아미드에 대한 지침을 제공하는 것입니다.

　

이 문서의 범위는 고순도 하프늄 아미드, 즉 반도체 산업에서 원자층 증착에 의한 산화 하프늄 기반 층의 증착에 사용되는 테트라키스(디메틸아미노) 하프늄, 테트라키스(디에틸아미노) 하프늄 및 테트라키스(에틸메틸아미노) 하프늄을 포함합니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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