SEMI C66 - 트리메틸알루미늄(TMAI) 가이드, 99.5% 품질 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 12월 8일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2008년 2월에 출판되었습니다.

 

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 트리메틸알루미늄(TMAl)에 대한 지침을 제공하는 것입니다.

 

이 문서의 범위는 기상 증착 기술에 의한 알루미늄 금속 증착 및 원자층 증착에 의한 산화알루미늄 기반 층의 증착을 위해 반도체 산업에서 사용되는 고순도 TMAl의 층을 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.