SEMI C65 - 트리메틸실란(3MS) 가이드, 99.995% 품질 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 12월 8일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2008년 2월에 출판되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 트리메틸실란(3MS)에 대한 지침을 제공하는 것입니다.

이 문서는 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)용으로 반도체 산업에서 낮은 k 유전체 및 SiC 에칭 스톱, 하드 마스크 및 구리 확산 장벽 전구체로 사용되는 3MS에 대한 가이드를 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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