SEMI C62 - 저유전율 CVD 공정에 사용되는 Progen 전구체 사양 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 12월 13일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2007년 11월에 출판되었습니다. 이전에 2009년 3월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 필요성이 확인된 Low K CVD 공정에 사용되는 포로겐 전구체에 대한 사양을 제공하는 것입니다.

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 포로겐 전구체(예: 알파-테르피닌, 리모넨, 바이사이클로헵타디엔 및 사이클로옥탄)에 대해 제안된 불순물 한계를 나열합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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