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SEMI C61 - 바코드 컨테이너 식별 사양 -
Abstract
알림: 이 문서는 2010년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.
공정 화학 물질 또는 가스 SEMI 사양을 지원하는 데이터에 대한 정밀도 및 데이터 보고 관행에 대한 최소한의 지침을 제공합니다.
이 가이드는 SEMI 공정 화학물질 또는 가스 사양의 수립 또는 검증을 지원하기 위해 수집된 데이터에 적용됩니다. 이러한 SEMI 사양에 대한 성능.
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI C1 — 시약 사양
개정 내역
SEMI C61-0707 (철회 0114)
SEMI C61-0707(최초 공개)
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C06100 - SEMI C61 - 바코드 컨테이너 식별 사양
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