SEMI C59 - 질소 사양 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 12월 8일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 2002년 11월에 출판되었습니다. 이전에 2011년 2월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 다양한 등급의 질소(N ₂ )에 대한 일련의 사양을 제공하는 것입니다.

이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 모든 등급의 질소에 대한 요구 사항을 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드
SEMI C3 — 가스 사양

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