SEMI C55 - 준임계, 임계 및 초임계 애플리케이션에 사용되는 액체 이산화탄소(CO2) 사양, >/ 99.99% 품질 -

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Non-Member Price: ₩239,000

Volume(s): Gases
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C55-1104(재승인 0118) - 현재

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 원래 2004년 11월에 출판되었습니다. 이전에 2011년 2월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 준임계, 임계 및 초임계 애플리케이션에 사용되는 액체 이산화탄소(CO 2 )에 대한 사양을 제공하는 것입니다.

이 문서는 반도체 산업에서 준임계, 임계 및 초임계 응용 분야에 사용되는 모든 등급의 액체 이산화탄소에 대한 순도 요구 사항을 제공합니다.

분석 방법이 완전하지 않은 경우 요구 사항을 지침으로 제시합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C10 - 방법 검출 한계 결정을 위한 가이드
SEMI C15 — ppm 및 ppb 습도 표준에 대한 테스트 방법
SEMI F33 — 대기압 이온화 질량 분석기(APIMS)의 교정 방법

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