SEMI C53 - DMSO(Dimethyl Sulfoxide) 사양[등급 1 및 2] -

개정: SEMI C53-0704(0312 재승인) - 비활성

개정

Abstract

알림: 이 문서는 약간의 편집 변경을 거쳐 재승인되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 디메틸 설폭사이드에 대한 요구 사항과 해당 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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