SEMI C53 - 지메치르스르호키시드(DMSO)[그레이드1 오요비2]의 사양 -

Abstract

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注意：本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

　

本文書の目的は，半導体産業で使用されるジメチルスルホキシドに対する要求事項を標準化し，mata，要求事項に対して立証するためのtest手順を標準化する ことである. このtest方法は統計的に有効な結果を表すことが明らかとなっている.

　

本書の範囲は半導体産業에서 사용하는 모든 글레이드의 DMSO 로 사용합니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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