SEMI C52 - 특수 가스의 저장 수명에 대한 사양 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 12월 13일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2001년 3월에 출판되었습니다. 이전에 2012년 3월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 용어를 정의하고 특수 가스의 보관 수명에 대한 최소 기간을 권장하는 것입니다. 이는 가스 공급업체 간에 용어의 일관성을 제공하고 이러한 가스 사용자에게 일반적인 지침을 제공하기 위한 것입니다.

이 문서는 특수 가스 제조업체 또는 공급업체가 저장하거나 공급한 대로 적절하게 포장, 충전 및 분석된 특수 가스의 유통 기한에 적용됩니다. 이 문서에서 보관 수명은 품질 관점에서 봅니다. 이 문서는 장기간의 가스 저장과 관련된 안전 측면을 다루지 않습니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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