SEMI C52 - 특수 가스의 貯蔵寿命に関する仕様 -

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2000年12 月20日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2001年1月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年3月発行。

　

注意：本文書は，編集上の修正を伴って再承認された.

　

本文書の目的は，特殊gasの用語定義と，最短貯蔵寿命を推奨することである。これにより，gassapriyyの中で用語が一貫し，matataこれらのgasnoユーザに一般的가이드라인이 提供されることとなる.

　

この文書は,適切に팍케이지され，充填され,分析された特殊gas者が，特殊gas製造mataはsapriyaヤによって保管された際の貯蔵寿命に適用される.本書では，貯蔵寿命は品質の観点でとらえられている.本書はgasの長期保管に関する安全面は取り扱わない.

참조된 SEMI 표준

없음.

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