SEMI C51 - 자일렌 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩239,000

Volume(s): Process Chemicals
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C51-0114(재승인 1119) - 현행

개정

Abstract

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 크실렌에 대한 요구 사항을 표준화하고 이 표준을 지원하기 위한 테스트 절차를 문서화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다.

　

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 크실렌 등급입니다.

　

이 물질은 오르토, 메타 및 파라 이성질체와 에틸 벤젠의 혼합물입니다. 크실렌(o-, m- 및 p- 이성질체) 99.0% min 및 에틸 벤젠 1% max.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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