SEMI C49 - 트리메틸보레이트 가이드 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2010년 8월 27일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2010년 11월 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1995년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2005년 11월.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 트리메틸보레이트에 대한 요구 사항과 해당 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 이 문서는 또한 업계에서 필요로 하는 트리메틸보레이트 등급에 대한 가이드를 제공합니다. 가이드의 경우 테스트 방법이 개발되지 않았거나 현재로서는 통계적으로 검증되지 않았을 수 있습니다.

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 트리메틸보레이트 등급을 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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