SEMI C49 - 트리메칠 호우 가이드 -

Abstract

本standardは， global Liquid Chemicals Committee で技術的に承認されている。現版は20 10年8月27日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 20 10 年10 月にwww.semi .org 에서 1995년 11월 11 일 이전.

 

本文書の目的は，半導体産業で使用 されるTrimeachiru ホウ酸に対する要求条件を標準化し，matataこれらのstandardをsapot сる試験手順を標準化する ことである.試験方法は，統計的に有効な結果を示している.本文書はtrimechiner ホウ酸に対して要求が認められたグレードのgaidも示す。gaidの場合は，試験方法は統計的に有効となっていない場合がある。

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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