SEMI C48 - 1,1,1-트리클로로에탄, 용광로 등급에 대한 사양 및 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000

Volume(s): Process Chemicals
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C48-0812 - 비활성

개정

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2012년 6월 18일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 1988년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2006년 7월.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 1,1,1-Trichlorethane, Furnace Grade에 대한 요구 사항과 해당 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다.

*주의: 이 물질은 알루미늄 및 백색 금속과 격렬하게 반응하며 이 물질은 증기 탈지용으로 사용되지 않습니다(0.05% 미만의 억제제 함유).

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 1,1,1-트리클로로에탄 등급을 다룹니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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