SEMI C47 - 트랜스 1,2 디클로로에틸렌 가이드 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 가이드라인은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용이 유효해야 합니다.

이 표준의 목적은 필요성이 확인된 트랜스 1,2 디클로로에틸렌 등급에 대한 지침을 제공하는 것입니다.

이 표준의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 트랜스 1,2 디클로로에틸렌의 제안된 불순물 한계를 나열합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

개정 내역

SEMI C47-0812(기술 개정)

SEMI C47-0706(완전 재작성)

SEMI C47-0699(최초 발행 - SEMI C7.20 대체)

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