SEMI C45 - TEOS(Tetraethylorthosilicate) 사양 및 가이드 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 12월 13일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 5월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 1999년 6월에 처음 출판되었습니다. 이전에 게시된 2009년 6월.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 테트라에틸오르토실리케이트에 대한 요구 사항과 이러한 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다.

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 모든 등급의 테트라에틸오르토실리케이트입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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