SEMI C45 - 테트라에트키시시란(TEOS) 가이드라인과 구조 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standared는 Process Chemicals Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年1月2日，Global Audits and Review Subcommitteeにて発行が承認された。2009年2月にwww.semi. org에서는 初版は1999年6月発行，前版は2001年3月に発行された。

　

本文書の目的は，半導体産業で使用される tetraetraetkishisiranに対する要求条件を標準化し，matata これらのスタンダードをsaポートする試手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。

 

本文書の範囲は半導体産業で用される tetraetraetkishishiran의 全てのグレードである.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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