SEMI C44 - 황산 사양 및 가이드 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 12월 13일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1978년에 출판되었습니다. 이전에 2014년 5월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 황산에 대한 요구 사항과 이러한 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다. 방법 검증에 대한 SEMI C1 요구 사항을 준수하는 한 대체 방법을 사용할 수 있습니다. 이 문서는 또한 필요성이 확인된 황산 등급에 대한 가이드를 제공합니다. 이러한 등급의 경우 테스트 방법이 아직 통계적으로 검증되지 않았을 수 있습니다.

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 모든 등급의 황산입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드
SEMI C27 - 염산 사양 및 가이드
SEMI C35 — 질산 사양 및 가이드

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