SEMI C43 - 水酸化ナトリウム50%溶液の仕様 -

Abstract

本仕様は， global Liquid Chemicals Committee で技術的に承認されている。現版は2010年8月27日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年10 月にwww.semi.org で入手可能となる.初版は1999年発行. 前版は2005 年11 月に発行された.

 

本文書の目的は，半導体産業で使用 される水酸化natrium50%溶液に対する要求条件を標準化し，matataこれらのstandaーdoをsaポートする試験手順を標準化する ことである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。 SEMI C1의 通り代替法の妥当性が確認されたなら，それを使用してもよい。

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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