SEMI C42 - 수산화나트륨 펠릿 사양 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2010년 8월 27일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2010년 10월 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1978년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2005년 11월.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 수산화나트륨 펠릿에 대한 요구 사항과 해당 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다. 방법 검증에 대한 SEMI C1 요구 사항을 준수하는 한 대체 방법을 사용할 수 있습니다.

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 수산화나트륨 펠릿 등급입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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