SEMI C42 - 水酸化natrium(固體)の仕様 -

Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩294,000

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C42-1110 - 비활성

개정

Abstract

本standardは, global Liquid Chemicals Committee で技術的に承認されている。現版は2010年8月27日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010年10 月にwww.semi.org で入手可能となる.初版は1978 年発行. 前版は2005 年11 月発行。

 

本文書の目的は，半導体産業で使用される水酸化natrium(固體)に対する要求条件を標準化し，matataこれらのスタンダードをsaポートする試験手順を標準化する ことである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している。 SEMI C1의 通り代替法の妥当性が確認されたなら，それを使用してもよい。

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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