SEMI C41 - 2-프로판올 사양 및 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩239,000

Volume(s): Process Chemicals
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C41-0618 - 현재

개정

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 12월 13일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1978년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2005년 7월.

알림: '참고:' 단락은 이 표준 또는 안전 지침의 공식 부분이 아니며 공식 표준 또는 안전 지침을 수정하거나 대체하기 위한 것이 아닙니다. 이들은 표준 또는 안전 가이드라인의 사용을 향상시키기 위해 글로벌 기술 위원회에서 제공했습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 2-프로판올에 대한 요구 사항과 이러한 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다.

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 모든 등급의 2-프로판올을 다룹니다.

VLSI 등급 순도 수준은 일반적으로 0.8~1.2미크론의 형상을 가진 반도체 장치에 필요합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드



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