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SEMI C39 - 수산화칼륨 펠릿 사양 -
Abstract
이 사양은 글로벌 공정 화학물질 위원회에서 기술적으로 승인했으며 북미 공정 화학물질 위원회의 직접적인 책임입니다. 현재 버전은 1999년 4월 23일 북미 지역 표준 위원회에서 승인되었습니다. 1999년 5월 SEMI OnLine에서 처음 사용 가능; 1999년 6월 발행 예정. 이 문서는 SEMI C1.14를 전체적으로 대체합니다. 1978년에 처음 출판되었습니다.
이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 수산화칼륨 펠릿에 대한 요구 사항과 해당 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다. 이 문서는 또한 필요성이 확인된 수산화칼륨 펠렛의 등급에 대한 지침을 제공합니다. 지침의 경우 시험 방법이 아직 통계적으로 검증되지 않았을 수 있습니다.
참조된 SEMI 표준SEMI C1 — 시약 사양
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C03900 - SEMI C39 - 수산화칼륨 펠릿 사양
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