SEMI C37 - りん腐食剤の仕様 -

Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩293,000

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C37-0706(재승인 0611) - 비활성

개정

Abstract

本standared는 글로벌 액체 화학 위원회で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年6月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 에서 入手可能となる. 初版は1981年発行.

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された.

　

本文書の目的は，半導体産業で使用されるりん腐食剤に対する要求条件を標準化し，matataこれらのスタンダードをsaポートする試験手順を標準化することである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している.本文書は，りん腐食剤に対して要求が認められたグレードのgaidlineも示す。gaidlineの場合は，試験方法は統計的に有効となっていない場合がある.

　

 참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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