SEMI C34 - 혼합산 에칭제 사양 및 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000

Volume(s): Process Chemicals
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C34-0113(0219 재승인) - 현재

개정

Abstract

이 표준은 글로벌 액체 화학 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2012년 12월 20일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2019년 2월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1981년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2006년 3월.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 혼합 산 에칭액에 대한 요구 사항과 해당 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다. 방법 검증에 대한 SEMI C1 요구 사항을 준수하는 한 대체 방법을 사용할 수 있습니다.

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 혼합 산 에칭액 등급에 대한 것입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드
SEMI C2 — 식각액 사양

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