SEMI C33 - n-메틸 2-피롤리돈 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 표준의 목적은 반도체 산업 및 테스트에 사용되는 n-메틸 2-피롤리돈에 대한 요구 사항을 표준화하는 것입니다. 해당 사양을 지원하는 절차. 테스트 방법은 다음을 제공하는 것으로 나타났습니다. 통계적으로 유효한 결과. 다음과 같은 경우 대체 방법을 사용할 수 있습니다. 방법 검증을 위한 SEMI C1 요구 사항을 준수합니다.

이 표준의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 n-메틸 2-피롤리돈 등급입니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

개정 내역

SEMI C33-0213(기술 개정)

SEMI C33-0301(기술 개정)

SEMI C33-0699(최초 발행 - SEMI C1.25, SEMI C7.16 및 SEMI C8.11 대체)

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