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SEMI C29 - 4.9% 불화수소산(10:1 v/v) 사양 및 가이드 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2010년 8월 27일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 6월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 1999년 6월에 처음 출판되었습니다. 이전에 게시된 2010년 11월.
이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 4.9% 플루오르화수소산에 대한 요구 사항과 이러한 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다. 이 문서는 또한 필요성이 확인된 4.9% 불화수소산 등급에 대한 가이드를 제공합니다. 가이드의 경우 테스트 방법이 아직 통계적으로 검증되지 않았을 수 있습니다.
이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 4.9% 불산 등급입니다.
참조된 SEMI 표준SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드
SEMI C28 — 불화수소산 사양 및 가이드
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