SEMI C28 - 푹화케이素酸の仕様 -

Abstract

本standard는 글로벌 액체 화학 위원회で技術的に承認されている。現版は2006年1月16日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2006年2月にwww.semi.org で，そして2006年3月にCD-ROMで入手可能となる。 初版は1978年発行，前版は2005年7月に発行された。

　

本文書の目的は，半導体産業で使用 されるhuッ化ケイ素酸に対する要求条件を標準化し，matataこれらのstandardをsapot tsuru試験手順を標準化する ことである.試験方法は，統計的に有効な結果を示している.

　

本文書の範囲は半導体産業で用される福化ケイ素酸の全てのグレードである.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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