SEMI C27 - 염산 사양 및 가이드 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 5월 22일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 9월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1978년에 출판되었습니다. 이전에 2018년 1월에 게시되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 염산 등급에 대한 요구 사항과 해당 사양을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. SEMI C1의 요구 사항에 따라 검증된 경우 대체 방법을 사용할 수 있습니다. 이 문서는 또한 필요성이 확인된 염산 계층에 대한 가이드를 제공합니다. 가이드의 경우 테스트 방법이 통계적으로 검증되지 않았을 수 있습니다.

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 염산의 등급 및 계층입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드
SEMI C35 — 질산 사양 및 가이드
SEMI C44 — 황산 사양 및 가이드

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