SEMI C26 - 헥사메틸디실라잔(HMDS) 사양 및 가이드 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2012년 8월 30일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2012년 9월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1983년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2006년 3월.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 헥사메틸디실라잔에 대한 요구 사항과 해당 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다. 방법 검증에 대한 SEMI C1 지침을 준수하는 한 대체 방법을 사용할 수 있습니다. 이 문서는 또한 필요성이 확인된 헥사메틸디실라잔 등급에 대한 가이드를 제공합니다. 가이드의 경우 테스트 방법이 아직 통계적으로 검증되지 않았을 수 있습니다.

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 헥사메틸디실라잔 등급에 대한 것입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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