SEMI C25 - 디클로로메탄(염화메틸렌) 사양 -

Abstract

이 표준은 글로벌 액체 화학 물질 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2005년 11월 29일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2006년 2월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다. 원래 출판된 1978년; 이전에 1999년 6월에 게시되었습니다. 알림: 이 문서는 2006년에 완전히 재작성되었습니다.

이 문서의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 디클로로메탄(염화메틸렌)에 대한 요구 사항과 해당 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다. 이 문서는 또한 필요성이 확인된 디클로로메탄의 등급에 대한 지침을 제공합니다. 지침의 경우 시험 방법이 아직 통계적으로 검증되지 않았을 수 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 시약 사양

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