SEMI C24 - n-부틸 아세테이트 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 사양의 목적은 표준화하는 것입니다. 반도체 산업에 사용되는 n-부틸 아세테이트에 대한 요구 사항 및 해당 사양을 지원하기 위한 테스트 절차를 문서화합니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다.

이 사양의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 n-부틸 아세테이트의 한 등급에 대한 것입니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

개정 내역

SEMI C24-0813(기술 개정)

SEMI C24-0301(기술 개정)

SEMI C24-0699(최초 발행)

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