SEMI C23 - 완충 산화물 식각액 사양 -

Abstract

이 사양의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 완충 산화물 식각액에 대한 요구 사항과 해당 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다. 방법 검증에 대한 SEMI C1 요구 사항을 준수하는 한 대체 방법을 사용할 수 있습니다.

이 사양의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 완충 산화물 식각액의 등급입니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드
SEMI C35 — 질산 사양 및 가이드

개정 내역
SEMI C23-0714(재승인 0620) ^E
SEMI C23-0714 (재승인 0620)
SEMI C23-0714(기술 개정)
SEMI C23-0708(기술 개정)
SEMI C23-0301(기술 개정)
SEMI C23-0699(최초 공개)

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