SEMI C22 - 삼브롬화붕소 가이드 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2011년 12월 24일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2012년 2월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1994년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2006년 3월.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서의 목적은 필요성이 확인된 삼브롬화붕소 등급에 대한 지침을 제공하는 것입니다.

이 문서는 반도체 산업에서 사용되는 등급에 대한 삼브롬화붕소의 제안된 불순물 한계를 나열합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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