SEMI C20 - 암모늄 플루오르화물 40% 사양 및 가이드 -

Abstract

이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 8월 17일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 원래 1978년에 출판되었습니다. 이전에 2013년 2월에 게시되었습니다.

이 표준의 목적은 반도체 산업에서 사용되는 불화암모늄 40%에 대한 요구 사항과 이러한 표준을 지원하는 테스트 절차를 표준화하는 것입니다. 테스트 방법은 통계적으로 유효한 결과를 제공하는 것으로 나타났습니다. 이 표준은 또한 필요성이 확인된 불화암모늄 40% 등급에 대한 지침을 제공합니다. 지침의 경우 시험 방법이 아직 통계적으로 검증되지 않았을 수 있습니다.

이 문서의 범위는 반도체 산업에서 사용되는 모든 등급의 불화 암모늄 40%입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.