SEMI C16 - 정밀 및 데이터 보고 관행 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩240,000

Volume(s): Gases / Process Chemicals
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI C16-0299(철회 1110) - 철회

개정

Abstract

이 표준은 글로벌 액체 화학 물질 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2010년 8월 27일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2010년 10월에 www.semi.org에서 처음 사용할 수 있습니다. 이전에 출판된 2005년 3월.

알림: 이 문서는 2010년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.

공정 화학 물질 또는 가스 SEMI 사양을 지원하는 데이터에 대한 정밀도 및 데이터 보고 관행에 대한 최소한의 지침을 제공합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 시약 사양

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