SEMI C15 - ppm 및 ppb 습도 표준 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 3월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2016년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1995년에 출판되었습니다. 이전에 2012년 2월에 게시되었습니다.

이 테스트 방법은 기체 수분 표준에 의해 전달된 수분의 양이 물리적 원리에 기초하여 표준에 대해 예측된 것과 일치하는지 여부를 결정합니다. 이 테스트 방법은 수분 표준을 처음 사용하기 전에, 예상 성능에서 벗어날 가능성이 있거나 의심될 때, 그리고 필요할 때 기타 시간에 수분 표준을 검증하는 데 사용될 것으로 예상됩니다.

이 테스트 방법은 신뢰할 수 있는 수분 분석기가 있다고 가정합니다. 분석기의 유효성을 보장하기 위해 광범위한 예방 조치가 설명되어 있지만 분석 장비의 예기치 않은 결함으로 인해 테스트가 잘못된 결과를 얻을 수 있는 가능성이 항상 있습니다.

수분 생성에 많은 위험이 따른다는 점을 감안할 때 표준에 의해 전달되는 예상 수분 농도와 분석기의 해당 수준 측정이 일치해야 합니다. 일치 정도는 수분 표준에 대해 주장하는 정밀도 정도에 따라 달라질 수 있지만, 어쨌든 측정 및 예측 결과는 수분 표준의 전체 범위에 걸쳐 10% 이내여야 합니다. 그렇지 않은 경우 예측의 기반이 되는 물리적 측정과 의심스러운 것으로 간주되는 기타 매개변수를 확인한 후 검증을 반복해야 합니다.

이 테스트 방법은 ppm 범위 이하의 수분량을 전달하는 모든 유형의 기체 표준에 적용할 수 있도록 고안되었습니다. 제공된 수분 농도는 물리학의 기본 원리를 기반으로 예측할 수 있습니다. 따라서 분석에 의한 특성화에만 의존하는 표준은 특별히 제외됩니다.

이 테스트 방법의 일부로, 수분 표준을 인증하는 데 사용하기에 적합한 것으로 간주되는 특정 수분 분석기를 인증하는 절차가 설명되어 있습니다. 다른 응용 분야를 위한 수분 분석기는 다른 기준을 충족해야 할 수도 있습니다.

현재 사용 가능한 가장 정확하고 신뢰할 수 있는 수분 분석기는 주로 ppm 범위에서 작동하므로 이 테스트 방법은 이 범위의 수분 표준 검증에 중점을 둡니다. ppb 수분 표준의 필요성은 ppm 수분 표준의 출력을 ppb 범위로 줄이기 위한 절차를 지정함으로써 해결됩니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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